日本ULVAC CFB-2000Z脂潤(rùn)滑分子泵技術(shù)參數(shù)

發(fā)布時(shí)間： 2015-12-29　　點(diǎn)擊次數(shù)： 947次

一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介

CFB-Z系列脂潤(rùn)滑分子泵其葉輪采用國(guó)內(nèi)*的變截面葉齒，軸承采用脂潤(rùn)滑陶磁精密軸承，以更高的可靠性實(shí)現(xiàn)了泵的任意角度安裝和清潔無(wú)油的高真空環(huán)境，廣泛應(yīng)用于光伏、照明、宇航、半導(dǎo)體、能源、軍工、激光、家電、新材料、汽車等真空技術(shù)的各個(gè)領(lǐng)域。

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

由于對(duì)分子量大的氣體有很高的壓縮比，因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得高真空和超高真空。
軸承采用脂潤(rùn)滑陶瓷精密軸承，可以實(shí)現(xiàn)泵的任意角度安裝。

三、主要性能指標(biāo)

型號(hào)		CFB-2000Z
進(jìn)氣口法蘭	—	LF250	CF250
排氣口法蘭	—	KF50
抽氣速率	L/s	2000
壓縮比N2/H2	—	1×109/1×104
極限壓強(qiáng)	Pa	5×10-7	8×10-8
電機(jī)轉(zhuǎn)速	rpm	24000
振動(dòng)值	μm	≤0.1
啟動(dòng)時(shí)間	min	＜6
使用軸承	—	脂潤(rùn)滑陶瓷軸承
前極泵	L/s	15
冷卻方式	—	水冷（風(fēng)冷）
冷卻水溫度	℃	≤25
環(huán)境溫度	℃	<40
冷卻水流量	L/min	1
安裝方向	—	任意角度
重量	kg	～30

三、特性曲線及安裝尺寸

CFB系列抗沖擊分子泵對(duì)大氣的抽速曲線

CFB系列抗沖擊分子泵對(duì)氮?dú)饧皻錃鈮嚎s比曲線

CFB-2000Z安裝尺寸

型號(hào)規(guī)格	CFB-2000Z
高真空法蘭	LF250	CF250
D1	Ф290	Ф305
D2	Ф295	Ф295
D3	274	274
L1	114	114
H1	317	317
H2	262	262
H3	97.5	97.5
H4	282	282

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